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近日，中科九微研制的“MTP系列磁悬浮复合分子泵”入选北京市2024年首台（套）重大技术装备目录（半导体领域）。这一成果标志着中科九微在半导体真空技术领域取得了重要突破，彰显了公司在自主创新方面的强大实力。 “MTP系列磁悬浮复合分子泵”是中科九微承担的国家重大攻关专项研究成果，是半导体制造过程中不可或缺的关键设备之一。它的成功研制和推广应用，将有力提升我国半导体产业的自主可控能力，进一步推动半导体产业向高端、智能、绿色方向发展。 展开剩余52% “ MTP系列磁悬浮复合分子......
2025-02-05
